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產品特點：
1、射頻發生器的高壓供電回路，采用先進的電子技術，淘汰了笨重的升壓變壓器和高頻阻流圈，采用功率閉環反饋技術，控制精度小于0.1%。
2、全自動點火 氣路智能控制，實現軟件點火，更方便。
3.安全冷卻水保護、氬氣保護、過壓、過流、滅弧保護更安全。
4.輸出功率自動匹配調諧，功率參數軟件程序設定。
5.分光器內充氬氣，使波長在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的測量效果。
6.優良的光學系統，先進的控制系統，保證峰位定位準確，信背比優良、極小的基體效應。
7.測量范圍寬，超微量到常量的分析,動態線性范圍5—6個數量級。
8.檢出限低，大多數元素的檢出限可達ppb級。
9.良好的測量精度，穩定性相對標準偏差RSD≤1.5%（5ppm），優于國家A級標準（JJG768-2005）。
10.氬氣消耗量：14L/min
技術參數：
射頻發生器（RF）
(1)電路類型：自激振蕩電路，全自動點火，精密高壓開關電源供電系統，所有功能實現電腦軟件控制(點火、熄火、功率等參數設置)；實時功率控制；自動匹配調諧；光室恒溫；；
(2) 工作頻率：40.68MHZ±0.05%
(3) 頻率穩定性：<0.1%
(4) 輸出功率：700－1600w
(5) 輸出功率穩定性：≤0.3%
(6) 電磁場泄漏輻射強度：距機身300mm 電場強度E:<2V/m
進樣裝置:
(1) 輸出工作線圈內徑25mm，3匝
(2) 炬管：外徑20mm的石英炬管
(3) 同軸型噴霧器外徑6mm
(4) 雙筒形霧室外徑35mm
(5) 氬氣流量計規格和載氣壓力表規格：
①、 等離子體流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)
②、 輔助氣流量計（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)
③、 載氣流量計（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)
④、 載氣穩壓閥（0-0.4MPa）
儀器內設氬氣二次穩壓閥（0.3MPa）
測光裝置:
(1) 光電倍增管規格： R212UH
(2) 光電倍增管負高壓：200-1000V ，穩定性<0.05%
(3) 光電倍增管電流測量范圍：10-12 -10-4A
(4) 信號采集為V/F交換：1mV對應100Hz
分光器:
(1) 光路:Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光柵規格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm，
刻線面積: 80×110mm，線色散率倒數：0.26nm
(4) 波長范圍：190-500nm
(5) 分辨率: ≤0.008nm
(6) 掃描波長范圍3600線/mm 掃描波長范圍：190-500nm
(7) 步進電機驅動最小步距：0.0006nm
(8) 入射狹縫：20μm 出射狹縫：25μm
(9) 發射鏡規格：（78 × 105 × 16）mm
(10) 透鏡ф30，1：1成像
整機技術指標：
(1) 測量波長范圍：
180-500nm 3600L/mm光柵
(2) 測量精度（重復性）：平均相對標準偏差RSD≤1%
(3) 測量穩定性：平均相對標準偏差RSD≤2
(4) 檢出下限：亞PPb級